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扫描电子显微镜
Verios 5 XHR SEM
●创新的电子光学系统
●亚纳米级分辨率
●一致的测量结果
●低剂量操作和最佳对比度选择
●轻松访问射束着陆能量
●无人照看的 SEM 运行
●大腔室
扫描电子显微镜
体验 Verios XHR SEM 所提供的优势
1. 使用 UC+ 单色化电子源的高分辨率纳米材料成像，可在 1-30 kV 范围内实现亚纳米性能。
2. 对灵敏材料的高对比度性能出色，具有 20 eV 着陆能量和高灵敏度色谱柱内和透镜下检测器以及信号过滤，可实现低剂量操作和出色 的对比度选择。
3. 凭借采用 SmartAlign 和 FLASH 技术的 Elstar 电子色谱柱，可大大缩短各种经验水平的用户获得纳米级信息的时间。
4. 借助 ConstantPower 透镜、静电扫描和两个压电载物台的选择，获得一致的测量结果。
5. 配备大腔室，配件的灵活性高。
Verios 5 XHR SEM 相关技术
能量色散谱
能量色散谱(EDS)可采集详细的元素信息以及电子显微镜图像，为电镜观察提供关键的组成背景。利用EDS可通过快速、整体的表面扫描至各个原子以确定化学成分。
对热样品进行成像
在现实条件中，研究材料通常需要在高温下工作。在热量存在时，可以通过扫描电子显微镜或DualBeam工具对材料再结晶、熔化、变形或反应的行为进行原位研究。
多尺度分析
必须在更高分辨率下分析新材料，同时保留较大的样品背景。多尺度分析允许多种成像工具和模态（如X射线microCT、DualBeam、激光PFIB、SEM和TEM）关联。
阴极发光
阴极发光 (CL) 描述材料在电子束的激发下产生的发光现象。该信号由专业的 CL 检测器捕获，包含样品成分、晶体缺陷或光子特性的信息。
SEM计量
扫描电子显微镜可以纳米尺度提供准确可靠的计量数据。自动化的超高分辨率 SEM 计加快了内存、逻辑和数据存储应用的利润产出时间和上市时间。
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