您当前的位置：
智蜂机电科技
您当前的位置：
显微镜
Helios 5 PFIB DualBeam
●先进的自动化
●新一代 2.5 μA Xenon 等离子 FIB 色谱柱
●多模式亚表面和3D信息
●低能量下具有亚纳米性能
●完整的样品信息
●先进的功能
●无伪影成像
●短时间获得纳米级信息
●精确的样品导航
显微镜
产品简介
用于TEM样品制备（包括3D表征、横截面成像和微加工）的等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜。
Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam（聚焦离子束扫描电子显微镜或 FIB-SEM）是具有无与伦比的功能，专用于材料科学和半导体应用的显微镜。材料科学研 究人员可以通过 Helios 5 PFIB DualBeam 实现大体积3D 表征、无镓样品制备和精确的微加工。半导体设备、先进包装技术和显示设备的制造商通过 Helios 5 PFIB DualBeam 可实 现无损伤、大面积反处理、快速样品制备和高保真故障分析。
材料科学的主要特点
1. 无镓 STEM 和 TEM 样品制备
由于新 PFIB 色谱柱可实现 500 V Xe+ 最终抛光和所有操作条件下的优异性能，因此可以实现高质量、无镓 TEM 和 APT 样品制备。
2. 先进的自动化
使用选配的 AutoTEM 5 软件最快、最简单地实现自动化的多点原位和非原位 TEM 样品制备以及横截面成像。
3. 新一代 2.5 μA Xenon 等离子 FIB 色谱柱
使用新一代 2.5 μA Xenon等离子FIB色谱柱(PFIB)实现高通量和高质量的统计学相关3D表征、横截面成像和微加工。
4. 多模式亚表面和 3D 信息
使用选配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件，访问高质量、多模式亚表面和 3D 信息并精确定位感兴趣区。
5. 低能量下具有亚纳米性能
凭借具有高电流 UC+ 单色器技术的一流 Elstar 电子色谱柱，可以在低能量下实现亚纳米性能，从而显示最细致的细节信息。
6. 完整的样品信息
可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成检测器获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息。
7. 先进的功能
通过 FIB/SEM 系统采用选配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 气输送系统，实现最先进的电子和离子束诱导沉积及蚀刻功能。
8. 无伪影成像
无伪影成像基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 SmartScan™ 和 DCFI 模式。
9. 短时间获得纳米级信息
借助 SmartAlign 和 FLASH 技术，任何经验水平的用户都可以最短时间获得纳米级信息。
10. 精确的样品导航
由于 150 mm 压电载物台和选配腔室内 Nav-Cam 导航具有高稳定性和准确性，可根据具体应用需求定制精确的样品导航。
半导体的主要特点
1. 半导体设备反处理
Dx 化学处理结合等离子 FIB 束可以为高级逻辑、3D NAND 和 DRAM 提供独特、位点特定、反处理和故障分析工作流程。
2. 高速大面积横截面成像
新一代2.5 μA Xenon PFIB色谱柱可实现高通量、高品质、统计学相关的3D表征、横截面成像和微加工。
3. TEM 样品制备
通过PFIB反处理结合Thermo Scientific引导工作流程，实现高质量、单层面和横截面、自上而下和倒置TEM样品制备。
4. 亚纳米低能量SEM性能
凭借具有高电流UC+单色器技术的一流Elstar电子色谱柱，可以在低能量下实现亚纳米性能，从而显示最细致的细节信息。
5. 先进的自动化
执行带端点的自动反处理。SmartAlign和FLASH技术使具有任何经验水平的用户在短时间内获取纳米级信息。
6. 完整的样品信息
可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成检测器获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息。
7. 无伪影成像
通过原位自动摇摆抛光和专用成像模式（如SmartScan和DCFI模式）获取无伪影成像。
8. 精确的样品导航
体验通过灵活的5轴电动平台配置和超高分辨率平台选项，专为满足不同应用需求定制的精确样品导航。
Helios 5 PFIB DualBeam 的相关技术
核心搜索：
PCB
PCB
PCB
PCB
PCB
PCB
