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半导体蚀刻系统
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●统一了接口
●能够搭载高精度模块化的各种腔室
●能够搭载高精度模块化的各种腔室
半导体蚀刻系统
半导体蚀刻装置9000系列统一了接口并且能够搭载高精度模块化的各种腔室,从而实现了对应最尖端器件的扩展性和柔软性的工艺
产品简介
20纳米世代后的装置对精度和工艺要求非常高,半导体蚀刻装置9000系列统一了接口并且能够搭载高精度模块化的各种腔室,从而实现了对应最尖端器件的扩展性和柔软性的工艺。
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