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Dimension Edge PSS 原子力显微镜
Dimension Edge PSS
●高级PSS计量能力
●业界领先的AutoMET软件
Dimension Edge PSS 原子力显微镜
产品简介
布鲁克的Dimension Edge™ PSS原子力显微镜与AutoMET™软件是LED基板和外延片制造商最理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension EDGE AFM 平台的延伸，Edge PSS融合了 Dimension AFM 系统广为人知的扫描技术和超高分辨率，同时也为半导体基片生产提供了测量的解决方案。
性能特点
1. PSS分析的最高分辨率
随着蓝宝石基板 PSS结构 的间距趋近 2 微米，传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺测量所需的分辨率。Dimension Edge PSS 原子力显微镜 （AFM） 拥有亚纳米分辨率和一 次测量多达 9 个 2 英寸晶圆（或单个 4 或 6 英寸晶圆）的能力，能够解决测量中的高分辨、高效的需求，提供了PSS 制造过程所需要进行的大量检测数据。
除了Dimension EDGE PSS 内置的特定 PSS 测量功能外，该系统还集成了 布鲁克Dimension 显微镜系列著名的扫描技术，适用于外延粗糙度测量中高分辨率、低噪声的要求，包括 了轻敲模式、接触模式、相位测量等标准的AFM模式以及AFM 专有的抬高模式。
2. 高级PSS计量能力
Dimension EDGE PSS AFM 提供纳米分辨率，用于分析 PSS 基板的每个关键参数，同时可以进行但晶圆的多点以及多个晶圆的多点测试。布鲁克的专用 PSS 分析包可以同时提供：
1. 高度、宽度和间距
2. 侧壁角度和特征轮廓
3. 不对称识别和测量
4. 污染识别
5. 转弯识别和转弯角度
6. 平顶识别
3. 业界领先的AutoMET软件
Dimension Edge PSS 系统集成了专门设计用于满足LED制造要求的AutoMET软件。 该软件具有两种不同级别的操作模式：
操作员级别：简单的用户界面，一步步指导用户完成探针更换，激光对齐，Tune 探针和确认探针安装的步骤。 一键完成多达9个晶圆“”合格/失败“”的分类测试结果的自动输出，
工程师级别：受密码保护的用户界面， 工程师可以访问所有关键的AFM参数。 在这种模式下，制程工程师可以轻松设置所有必需的“”通过/失败“检测”标准。
Dimension Edge PSS通过轻松的激光对准、自动生成报告的方式提高了系统的可操作性，使用户感受到有史以来最佳的AFM用户体验。
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