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DUALBEAM 显微镜
Helios 5 PXL Wafer DualBeam
●缩短数据时间
●提高晶圆利用率
●与半导体工厂自动化兼容
DUALBEAM 显微镜
产品简介
Thermo Scientific Helios 5 PXL Wafer DualBeam 是一种等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜 (PFIB SEM)，重新定义了高深宽比贯通堆栈计量和结构验证的标准。它具有高性能生 产线计量和工艺监测功能，可快速为工艺开发和生产工程师提供关键见解。
功能特点
快速获得数据
Helios 5 PXL Wafer DualBeam 利用获得专利的 Thermo Scientific Elstar 电子色谱柱和高性能 PFIB2.0 氙等离子体离子柱，提供高分辨率、高对比度成像。获得对高深宽比 3D 贯 通堆栈结构的精确尺寸测量，传统生产线计量工具不容易获取这些数据。
更快地了解良率和更高的生产率
高深宽比结构的快速、精确、大面积晶圆级逆向处理、对角线研磨和横切。高级自动化功能可识别潜在问题，加快工艺开发并尽可能减少生产中断。
世界一流的服务、知识和专业技能
Helios 5 PXL Wafer DualBeam 以我们在先进的计量样品制备和故障分析方面的世界级服务、知识和专业技能为后盾。
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